В 2016 году была значительно расширена экспериментальная база лаборатории "Криоэлектроника" - открыт учебно-методический центр литографии и микроскопии. Новые помещения соответствуют международным стандартам для изготовления микроэлектроники и оборудованы современными установками для изготовления наноэлектронных стурктур. 

Учебно-методический центр литографии и микроскопии — первый объект в Московском университете, чистые помещения которого подтверждены сертификатами классности для работ в области наноэлектороники. 

Центр оборудован по последнему слову техники: автоэмиссионный растровый электронный микроскоп Supra 40 (Carl Zeiss); система электронной литографии Elphy Quantum (Raith); ламинарно-вытяжные шкафы для работы с органической и неорганической химией Felcon, оснащенные центрифугами, печками, ультразвуковыми ваннами, термостатами; оптические стереомикроскопы (Axio Imager A2m, Stemi 508); система очистки воды Milli Q® Integral 15; генератор чистого азота PEAK SCIENTIFIC NG 3000A; система экспонирования в глубоком ультрафиолетовом излучении Abet Technologies Model 12008 1W 6x 6 DUV Exposure Source.

В рамках ЦКП проводятся научные исследования по всем актуальным направлениям работы лаборатории "Криоэлектроника", а так же по совместным проектам с другими кафедрами и факультетами  МГУ. 

Контакты: